半导体--超纯气体过滤
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电子特气是半导体制造产业的重要基础原料,被广泛应用于薄膜沉积、刻蚀、掺杂、钝化、清洗等工艺中。从晶圆加工到最后器件的封装,几乎每个环节都离不开电子特气,所以,它被誉为半导体制造的“血液”。
 
 
对于参与半导体制造全过程的电子气体来说,若纯度或净度不达标,轻则使得下游产品质量不过关,重则扩散污染整条产品线,造成产品全部报废,因此,保证这些气体的品质在生产环节中十分重要。
 
半导体的生产约有450道工艺,使用50余种不同的气体,这些气体通常分为两类:大宗气体(Bulk Gas)和特种气体(Specialty Gas)
 
 
1、大宗气体
对气体供应商来说就是相对简单的气体。被存放在硅片制造厂外面大型存储罐里,常分为惰性(Ar、He)、还原性(H₂)和氧化性(O₂)三种气体
 
2、特种气体
指供应量相对较少的气体。特种气体是半导体制造中所必须的材料,大多数是有害的,比大宗气体更危险,如HCl和Cl₂具有腐蚀性,硅烷会发生自燃,砷化氢和磷化氢有毒,WF₆具有极高的活性。
 
一般而言,半导体制造对大宗气体的纯度要求达到3N,而对电子特气的纯度要求则达到了5N-6N(N 指纯度百分比中9的个数,例如6N 表示99.9999%),同时还要求将金属元素净化到10⁻⁹级至10⁻¹²级。 
 
这也注定了在生产过程中,我们需要将尺度极小的“微”污染拒之门外。所以,在超纯气体或电子气体供气系统中,为了脱除由于振动或气流冲击所造成的脱落粒子,在使用气体前需要安装气体过滤器。
 
 
飞潮解决方案
 
Gist超纯气体滤芯
专为电子级气体超纯净化开发设计,过滤精度可达 3nm,有害杂质可控制在10-9。设备结构紧凑,强度高,也适合各种高温高压气体过滤。
 
Mighty-G系列滤芯
Mighty-G 系列滤芯采用超高密度折叠技术,提供超高过滤面积;特有的疏水性材料,确保高通量,低压损,延长使用寿命,精度可达 0.003μm,满足更高要求。
 
EG系列
EG 滤芯采用以疏水的聚四氟乙烯微孔滤膜材质制造,是气体过滤、罐顶呼吸过滤等的理想滤芯。
 
 
 
 
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