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飞潮参加中国半导体设备年会,赋能产业革新,助力“芯”未来

2022-11-03

2022年10月28日,第十届(2022)中国半导体设备年会暨半导体设备与核心部件展示会在无锡开幕,本次展会阵容强劲,行业上下游龙头企业汇聚,为打通产业链,促进企业合作交流提供良好机遇。

 

飞潮作为国际领先的过滤分离解决方案提供商,在展会上带来半导体超纯气体过滤以及半导体湿化品过滤的解决方案。

 

 

一、半导体超纯气体过滤

 

半导体生产对电子气体的纯净度有着很高的要求,若气体质量不达标,有可能扩散污染整条产品线,造成产品全部报废。因此,在进入制程前,电子气体需要过滤净化步骤。

 

在展会上,飞潮携带专为电子气体过滤研发的Gist超纯气体过滤器和Gistmini超纯气体过滤器惊艳亮相。

 

Gist和Gistmini的过滤精度可达3nm,具有超高颗粒拦截效率,316L不锈钢电子级抛光外壳,设备结构紧凑、强度高、高通量、低压损,与所有类别的半导体工艺气体具有良好的兼容性,适合各种高温高压气体过滤,可用于惰性和反应性气体。

 

 

二、半导体湿化品过滤

 

在半导体制造过程中,高达20%工艺步骤是清洗和晶圆表面的处理,涉及多种湿电子化学品的过滤,飞潮同样给出了高效解决方案。

 

如Mighty全氟滤芯,该滤芯采用先进的全氟结构,具有极佳的化学兼容性、极低的析出水平,适用于关键湿电子化学品的过滤与净化,如强酸等。Mighty滤芯有极高的截留效率,独特的折叠技术,保证滤芯的高通量、低阻力,延长使用寿命。而Taurus系列滤芯采用PTFE滤膜,化学兼容性优秀,适用于稀释的酸、碱、溶剂、去离子水等的过滤与净化。其折叠技术独特,不仅让滤芯具有高截留效率,也确保了高通量、低阻力的特点,延长了产品的使用寿命。

 

 

在历时三天的展会中,飞潮借此专业平台,展示了专业高效的半导体过滤解决方案,展位吸引众多行业客户驻足,不仅得到了在场诸多参展商的认可,也获得大量的合作需求。

 

唯有不断前行,企业方能立于潮头,通过此次展会飞潮收获颇丰,我们将继续以创新为旗帜,护航半导体生产,赋能产业革新,助力“芯”未来! 

 

直播回放

 

除参加半导体设备年会外,飞潮近期还准备了直播环节,扫描下方二维码,即可观看《半导体制程气体超纯过滤解决方案》的精彩回放。

 

 

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